粒子加速器中的真空應(yīng)用
粒子加速器產(chǎn)生帶電粒子束, 可用于科研, 醫(yī)療設(shè)備等應(yīng)用. 加速器一般由許多超高真空模塊組成, 這些模塊協(xié)同工作創(chuàng)建出長(zhǎng)路徑, 粒子可以在其中暢通無(wú)阻地向目標(biāo)移動(dòng). 上海伯東代理德國(guó) Pfeiffer 真空產(chǎn)品提供各類(lèi)真空泵 (旋片泵, 干泵, 渦輪分子泵), 真空測(cè)量和氦質(zhì)譜檢漏儀為粒子加速器應(yīng)用提供解決方案.

在粒子加速器中建立真空
在粒子加速器中, 真空旨在減少粒子束與氣體的相互作用, 超高真空可以有效提高粒子壽命, 粒子束強(qiáng)度限制（由于壓力不穩(wěn)定）, 避免未捕獲的粒子與檢測(cè)器發(fā)生相互作用.

這些粒子束的產(chǎn)生和維持只能在真空中進(jìn)行, 而粒子加速器有著真空行業(yè)中苛刻的技術(shù)要求. 加速器應(yīng)用的條件是超潔凈與高真空 10^-10 mbar, 而且用在加速器上的真空設(shè)備必須經(jīng)常性地運(yùn)行在強(qiáng)磁場(chǎng)和電離輻射之下.

上海伯東德國(guó) Pfeiffer真空泵針對(duì)與復(fù)雜儀器儀表的集成和輻射問(wèn)題進(jìn)行優(yōu)化, 從而控制運(yùn)行和維護(hù)成本. 真空系統(tǒng)需要管理的氣源包括氣體體積, 表面解吸 ( H₂O / H₂), 真空室壁的擴(kuò)散和真空系統(tǒng)材料的滲透.

型號(hào)	圖片	抽速	極限真空
渦輪分子泵 HiPace		10 - 2,050 l/s	最高 10-11 mbar
多級(jí)羅茨泵 ACP		15 - 88 m3/h	最高 10-2 mbar
渦旋泵 HiScroll		6 – 20 m3/h	最高 10-3 mbar

在粒子加速器中測(cè)量真空
在粒子加速器中, 需要測(cè)量真空來(lái)確立真空系統(tǒng)的完整性, 并確定總氣壓. 一般使用熱陰極真空規(guī)和冷陰極真空規(guī) (使用氣體電離概率來(lái)確定氣體原子的密度). 上海伯東德國(guó) Pfeiffer 冷陰極真空規(guī)可測(cè)量 1 × 10^-2  至 10^-9  mbar 范圍內(nèi)的真空, 熱陰極真空規(guī)可測(cè)量低至 10^-10  mbar 的壓力.

型號(hào)	圖片	測(cè)量范圍	測(cè)量精度	可重復(fù)性
PBR 360		5X 10-10 至 1000 hPa	± 10 % 至 ± 30 %	2 % 至 ± 5 %
IKR 251		2X10-9 -10-2 hPa	30 % ( 1X10-8 hPa – 1 X 10-3 hPa)	5 % ( 1X10-8 hPa – 1X 10-3 hPa)

粒子加速器需要檢漏
沒(méi)有任何腔室可以完全保證真空密封, 泄漏率應(yīng)足夠小, 以免對(duì)粒子加速器的極限壓力和氣體平衡產(chǎn)生負(fù)面影響. 上海伯東德國(guó) Pfeiffer 提供氦質(zhì)譜檢漏儀完整的產(chǎn)品線(xiàn), 從便攜式檢漏儀到檢漏模塊, 滿(mǎn)足各種粒子加速器應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對(duì)比, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點(diǎn). 提供無(wú)損泄露檢測(cè)的同時(shí)可以檢測(cè)出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s 并提供泄露數(shù)據(jù), 數(shù)據(jù)可用于改善生產(chǎn)工藝. 氦質(zhì)譜檢漏儀滿(mǎn)足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC.

型號(hào)	ASM 340	ASM 390	ASM 306S	ASM 310	ASI 35
圖片
特點(diǎn)	多功能多用途 前級(jí)泵可選油泵, 干泵或不配前級(jí)泵	大抽速移動(dòng)式 無(wú)油前級(jí)泵	吸槍嗅探 無(wú)油前級(jí)泵	便攜式 無(wú)油前級(jí)泵	檢漏模塊
檢漏模式	真空 吸槍	真空 吸槍	吸槍	真空 吸槍	真空 吸槍
檢測(cè)氣體	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2
最小檢測(cè)漏率 Pa m³/s	真空模式: 5x10-13 吸槍模式: 5x10-10 目前業(yè)界公認(rèn)最小漏律	真空模式: 1X10-13 吸槍模式: 1X10-9	吸槍模式: 1X10-8	真空模式: 5X10-13 吸槍模式: 1X10-8	真空模式: 5x10-13 吸槍模式: 1.5x10-9
對(duì)氦氣的抽速 L/s	2.5	10	-	1.1	總泄露模式: 6 常規(guī)模式: 1.8
前級(jí)泵抽速 m3/h	油泵 15 干泵 3.4	35	-	1.7	-
進(jìn)氣口最大壓力 mbar	25	20	-	15	總泄漏測(cè)試模式 18 高靈敏度模式: 0.2 常規(guī)模式: 1
進(jìn)氣口	DN 25 ISO-KF	DN 40 ISO-KF	-	DN 25 ISO-KF	DN 16 ISO-KF DN 25 ISO-KF
重量 kg	56	125	22	21	真空模塊 14.5，電子模塊 4.5 控制面板 1.5

上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部代理德國(guó)  Pfeiffer 真空產(chǎn)品, 比利時(shí) Europlasma 等離子表面設(shè)備, 美國(guó) inTEST ThermoStream 熱流儀, 美國(guó) KRI考夫曼離子源, 美國(guó) HVA 高真空插板閥, 日本 NS 離子束刻蝕機(jī). 上海伯東支持可持續(xù)發(fā)展目標(biāo), 針對(duì)不同客戶(hù)提供定制化解決方案并能與客戶(hù)攜手合作研發(fā)新的項(xiàng)目應(yīng)用.

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