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氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392
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氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392

移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392
上海伯東代理德國(guó)普發(fā) Pfeiffer 移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 全新上市!ASM 39X 系列是針對(duì)大型檢漏部件設(shè)計(jì)研發(fā), 檢漏儀配有干式非接觸式前級(jí)真空泵和渦輪分子泵, 檢漏儀 ASM 392 內(nèi)置2臺(tái)渦輪分子泵, 可以加速檢漏流程, 降低生產(chǎn)設(shè)備的停機(jī)時(shí)間, ASM 390, ASM 392 對(duì)氦氣的快速抽空能力和較短的響應(yīng)時(shí)間使其成為同類型檢漏儀中的佼佼者!

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 優(yōu)勢(shì):
1. 強(qiáng)大的抽空能力
2. 極短的測(cè)試時(shí)間,
3. 大尺寸彩色觸摸屏, 無需任何工具即可旋轉(zhuǎn)和拆卸
4. 符合人體工學(xué)設(shè)計(jì), 移動(dòng)性強(qiáng)
5. 通過 CE 認(rèn)證, ETL 認(rèn)證, UL61010 合規(guī), 符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)
6. 可用于半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)和平板顯示器行業(yè)以及其他要求嚴(yán)苛的應(yīng)用
檢漏儀 ASM390

上海伯東 Pfeiffer 移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 與 ASM 380 技術(shù)參數(shù)對(duì)比:

 型號(hào)

ASM 390

ASM 392

ASM 380 已停產(chǎn)

 檢測(cè)氣體

4He, 3He, H2

 最小檢測(cè)漏率

真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸槍模式: 1X10-8 mbar l/s

 對(duì)氦氣的抽速

10 l/s

25 l/s, 內(nèi)置2臺(tái)分子泵

7 l/s

 前級(jí)泵抽速

35 m3/h

 進(jìn)氣口最大壓力

20 mbar

20 mbar

15 mbar

 無校準(zhǔn)的啟動(dòng)時(shí)間(20°C)

2 min

2 min

< 4.5 min

 進(jìn)氣口

DN 40 ISO-KF

 響應(yīng)時(shí)間

< 1 s

 Interface,  選配

RS-232, I/O, Ethernet

 噪音

≤ 55 dB (A)

≤ 55 dB (A)

53 dB (A)

 重量

125 kg

130 kg

110 kg

 尺寸(LxWxH)

1072 x 455 x 1025 mm

1072 x 455 x 1025 mm

1065 X 455 X 1025 mm


移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390 應(yīng)用案例

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390

激光器零件檢漏
應(yīng)用于航天領(lǐng)域的激光器零件檢漏, 中空夾層設(shè)計(jì), 僅在兩端焊接密封, 真空模式下, 焊縫處漏率要求 < 10-9 Atm.cc/s.

氦質(zhì)譜檢漏儀ASM390

氦質(zhì)譜檢漏儀減壓器檢漏
減壓器主要用于半導(dǎo)體管路中氣體減壓, 調(diào)節(jié)氣體壓力, 減壓器要求在真空模式下漏率小于 1X10-8 mbar l/S

氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀半導(dǎo)體用配管配件檢漏
定制不銹鋼管, 配件和歧管廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體廠務(wù)端, 用于輸送高壓氧氣, 氫氣等. 客戶從現(xiàn)場(chǎng)量測(cè)管路, 然后對(duì)不同管路的口徑進(jìn)行焊接, 產(chǎn)品漏率值需要達(dá)到 <1E-9mar l/s

氦質(zhì)譜檢漏儀ASM390

氦質(zhì)譜檢漏儀熱交換器檢漏
對(duì)應(yīng)用于工業(yè)的體積 >1000L 的熱交換器進(jìn)行檢漏, 真空模式下, 漏率要求 1x10-6 mbar l/s.


結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質(zhì)譜檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢(shì), 伯東 Pfeiffer 提供氦質(zhì)譜檢漏儀完整的產(chǎn)品線, 從便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負(fù)壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對(duì)比, 在提供無損檢漏的同時(shí)可以檢測(cè)出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點(diǎn). 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 推薦氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用 >>

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