HVA 3位真空閘閥 21700 系列
上海伯東 HVA 3位真空閘閥 21700 系列適用于刻蝕, CVD, 真空鍍膜和其他需要壓力控制工藝的行業(yè). HVA 3位真空閘閥與上游質(zhì)量流量控制器一起使用時, 提供異常壓力控制功能, 該真空閘閥也適用于從粗真空到高真空的平穩(wěn)過渡. HVA 3位真空閘閥采用兩個氣動電磁閥和一個空氣壓力調(diào)節(jié)器控制閥門的3種開啟方式: 一個電磁閥控制閥門的完全關(guān)閉和完全開啟, 另一個電磁閥用于控制和調(diào)節(jié)閥門的任意開啟位置. 21700 系列3位真空閘閥廣泛應(yīng)用于低溫泵, 渦輪分子泵, 及其他對清潔度要求高, 低除氣的高真空行業(yè).

HVA 3位真空閘閥 21700 系列產(chǎn)品特點
1. 機械預(yù)設(shè), 遙控過渡閥位
2. 三個位置都有指示器
3. 標準或者定制法蘭
4. 至少一百萬使用周期
5. 任意位置安裝
HVA 3位真空閘閥 21700 系列技術(shù)參數(shù)：

閥門材質(zhì)：
閥門主體	304不銹鋼
焊接波紋管軸封	AM-350
驅(qū)動軸和驅(qū)動銷	硬質(zhì)不繡鋼
閥門密封方式：
高真空	氟橡膠
漏率	<2×10-9 mbar l/s
差壓關(guān)閉	1 bar
真空：
壓力范圍	高真空1x10-9 mbar
漏率	< 2x10-9  mbar l/S
差壓關(guān)閉	1 bar (任意位置)
開啟前最大壓力	≤ 30 mbar
烘烤溫度（不含電磁閥）：
閥門主體	150 °c
驅(qū)動方式	氣動 60 °c
使用壽命：100,000啟閉次數(shù)
公稱通徑：DN100-320 mm

美國 HVA 真空閥門-美國最大真空閥門制造商。美國HVA原裝進口真空閥門，超過50年的高真空和超高真空閥門設(shè)計與制造。主營高真空閘閥，高真空角閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜、激光、科研、工業(yè)等領(lǐng)域。上海伯東是美國HVA 真空閥門在中國地區(qū)唯一指定總代理商。
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