有效改善真空泵抽空時(shí)間的幾點(diǎn)建議
真空系統(tǒng)泄露率, 管道流導(dǎo), 真空室中存在的蒸發(fā)液體, 污染物等都會(huì)影響抽空時(shí)間. 上海伯東代理德國(guó) Pfeiffer 根據(jù)多年實(shí)踐經(jīng)驗(yàn), 提供有效建議, 改善真空泵抽空時(shí)間, 協(xié)助企業(yè)降本增效.

確認(rèn)需要達(dá)到的最終壓力
根據(jù)真空范圍, 使用環(huán)境, 選擇合適的真空泵
低真空: 1000 至 1 mbar, 可選旋片泵, 渦旋干泵, 隔膜泵, 螺桿泵, 多級(jí)羅茨泵, 羅茨泵
中真空: 1至 10^-3 mbar, 可選雙級(jí)旋片泵, 渦旋干泵, 螺桿泵, 多級(jí)羅茨泵, 羅茨泵站
高真空: 10^-3 至 10^-7 mbar ,可選分子泵組或前級(jí)泵+分子泵

選擇合適的泵的抽速
泵抽空時(shí)間決定了所需泵的抽速. 一般根據(jù)客戶要求的抽空時(shí)間, 選擇所需泵的抽速. 所需抽速取決于泵的抽空時(shí)間, 抽速越大, 抽空時(shí)間相對(duì)越短.

如何改善真空泵抽空時(shí)間: 減少真空系統(tǒng)管道長(zhǎng)度
通過(guò)對(duì)比 DN 100 真空泵在如下三種情況下的抽速, 得到結(jié)論: 通過(guò)優(yōu)化入口管道, 比如限制連接管道的長(zhǎng)度 (泵放在靠近真空腔的地方) 和管道中閥門和彎管的數(shù)量, 管道直徑和泵進(jìn)氣口一致. 可以有效改善真空泵的抽空時(shí)間.

* 名義抽速: 真空泵與腔體之間沒(méi)有管道連接, 直接連接

如何改善真空泵抽空時(shí)間: 保持腔體潔凈和干燥
氣體分子(主要是水)吸附在真空腔體的內(nèi)表面, 并逐漸在真空下再次蒸發(fā)
通過(guò)下圖三種形式對(duì)比可知, 干燥空氣或氮?dú)馀趴湛煽s短排空時(shí)間, 腔體使用氮?dú)馀艢? 腔體電拋光達(dá)到低解吸率, 可以改善真空泵抽空時(shí)間. 相反, 骯臟潮濕的腔體會(huì)延長(zhǎng)排空時(shí)間.

如何改善真空泵抽空時(shí)間: 降低真空泵本身泄露率
泄漏率是指真空泵在工作狀態(tài)下泄漏的氣體量, 泄漏率越低, 真空泵抽取氣體的效率越高, 建立真空環(huán)境的速度也越快. 泄漏率受到真空泵密封性能和泵體結(jié)構(gòu)等因素的影響. 上海伯東德國(guó) Pfeiffer 分子泵 HiPace 整體泄露率 < 1X10^-7 mbar l/s. 渦旋干泵 HiScroll 整體泄露率 < 5X10^-6 mbar l/s.

型號(hào)	分子泵 HiPace	渦旋干泵 HiScroll	旋片泵 Duoline	多級(jí)羅茨泵 ACP
圖片
整體泄露率	< 1X10-7 mbar l/s	< 5X10-6 mbar l/s	< 1X10-4 mbar l/s	< 5X10-7 mbar l/s

上海伯東代理德國(guó) Pfeiffer 提供適用于低真空, 中真空和高真空的各類旋片泵, 渦旋干泵, 隔膜泵, 螺桿泵, 分子泵和多級(jí)羅茨泵等. 滿足工業(yè), 科研, 半導(dǎo)體應(yīng)用, 上海伯東根據(jù)多年經(jīng)驗(yàn), 協(xié)助客戶選型, 有效改善真空泵的抽空時(shí)間. 協(xié)助企業(yè)降本增效！

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