氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用于半導(dǎo)體新材料和設(shè)備管道檢漏
上海伯東提供半導(dǎo)體新材料和設(shè)備管道檢漏解決方案, 助力企業(yè)生產(chǎn)高質(zhì)量的六氯乙硅烷 Si?Cl?. 六氯乙硅烷廣泛應(yīng)用于有機硅化合物的合成, 電子半導(dǎo)體材料制造.

半導(dǎo)體新材料和設(shè)備檢漏: 提升產(chǎn)品良率
半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備及其相關(guān)設(shè)施一般在真空環(huán)境下工作, 任何一處出現(xiàn)泄漏都可能導(dǎo)致包括產(chǎn)量下降, 產(chǎn)品不達標或嚴重安全風(fēng)險. 因此, 在潔凈室之內(nèi)或在任何維護干預(yù)之后, 密封性檢漏是需要的步驟. 上海伯東提供全面的氦質(zhì)譜檢漏解決方案, 確保生產(chǎn)設(shè)施從工藝室到排氣系統(tǒng)的真空完整性.

檢漏要求: 高精度, 清潔無油, 快速檢測, 盡可能縮短停機時間

在真空環(huán)境下工作的半導(dǎo)體制造設(shè)備氦質(zhì)譜檢漏方法:為了確保最終產(chǎn)品的質(zhì)量, 真空設(shè)施需要避免任何污染. 在安裝任何工具或者維護腔室之后, 推薦使用檢漏儀真空模式進行設(shè)備的密封性測試. 氦質(zhì)譜檢漏儀在真空條件下直接連接到設(shè)備, 通過將示蹤氣體氦氣噴灑到可能泄漏源的周圍 (比如焊縫, 接頭, 閥門等處), 即可定位, 定量檢測到存在的漏點. 真空模式下漏率  1X10^-10 mbar l/s.

在壓力下工作的氣體管路和機柜氦質(zhì)譜檢漏方法:
由于工藝氣體對自然環(huán)境的潛在危害, 此類管線在投入運行前需要通過測試. 推薦使用氦質(zhì)譜檢漏儀吸槍模式, 要測試的管線在壓力下充滿氦氣. 檢漏儀吸槍探頭可以探測可能逸出的氦氣. 吸槍模式下, 漏率 1X10^-8 mbar l/s

針對不同的工況, 上海伯東提供合適的半導(dǎo)體設(shè)備檢漏方案
當復(fù)雜系統(tǒng)或大容量系統(tǒng) (例如處理室或前級管線) 上發(fā)生泄漏時, 需要大抽速檢漏儀以加快泄漏檢測過程, 從而減少設(shè)備停機時間. 推薦使用氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390 或 ASM 392

對于過壓系統(tǒng)或難以進入測試區(qū)域的情況, 推薦便攜式檢漏儀 ASM 310 提供較大靈活性的同時又不影響性能和靈敏度.

型號	ASM 310	ASM 340 D	ASM 390
圖片
特點	便攜式, 清潔無油	多用途, 清潔無油	大抽速, 移動式, 清潔無油 完全符合 Semi S2 標準
最小檢測漏率	真空模式: 1X10-12 mbar l/s 吸槍模式: 1X10-7 mbar l/s	真空模式: 1X10-12 mbar l/s 吸槍模式: 1X10-9 mbar l/s	真空模式: 1X10-12 mbar l/s 吸槍模式: 1X10-8 mbar l/s
前級泵抽速	1.7 m3/h	3.4 m3/h	35 m3/h
氦氣抽速	1.1 l/s	2.5 l/s	10 l/s

上海伯東德國 Pfeiffer 提供全系列氦質(zhì)譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺式檢漏儀滿足各種不同的應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點. 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 推薦氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用 >>

若您需要進一步的了解氦質(zhì)譜檢漏儀, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 葉小姐                                   臺灣伯東: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 107              T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049
M: +86 139-1883-7267 ( 微信同號 )      M: +886-975-571-910
qq: 2821409400 

現(xiàn)部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯(lián)絡(luò)上海伯東 葉小姐 1391-883-7267
上海伯東版權(quán)所有, 翻拷必究！