ph-instruments SRG 高精度磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)
上海伯東代理德國(guó) ph-instruments 高精度磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì),  基于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子 SRG 技術(shù)開(kāi)發(fā), 即使在高真空測(cè)量應(yīng)用中, 也可以保持 +/- 1% 的讀數(shù)精度, 并且長(zhǎng)期穩(wěn)定.


ph-instruments SRG 高精度磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)在高真空測(cè)量中的優(yōu)勢(shì)
長(zhǎng)期穩(wěn)定, 無(wú)需校準(zhǔn): 讀數(shù)隨時(shí)間漂移 <1% 每年
清潔, 對(duì)工藝無(wú)影響: 沒(méi)有內(nèi)在的污染源, 真空計(jì)材質(zhì)不銹鋼, 耐腐蝕
測(cè)量范圍廣: (1000) 100 至 5x10-7mbar 滿足不同應(yīng)用
涂層/污染/溫度/磁場(chǎng)不敏感
快速響應(yīng)時(shí)間
自主工作, 結(jié)構(gòu)緊湊, 無(wú)故障, 方便系統(tǒng)集成
兼容性和靈活性:多種法蘭接口 CF40, KF25, 8VCR
方便使用: 故障分析診斷功能, 易于設(shè)置和控制,支持?jǐn)?shù)據(jù)存儲(chǔ), 24VDC 和電池供電

ph-instruments 高精度磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)應(yīng)用(替代離子規(guī)) 
高精度真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng): 提供真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng)或單獨(dú)真空規(guī)
低溫真空絕熱:方便集成, 在線監(jiān)測(cè)
半導(dǎo)體過(guò)程壓力測(cè)量（用于反應(yīng)氣體或沉積）: 離子注入, 刻蝕, CVD, PVD 等


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